웨이퍼 크랙 감지를 위한 AE기반 신호 검증 사례
[ 현장 문제 ]
Problem
Needs
고온·정전기 등 극한 환경에서
웨이퍼 크랙·파손 이벤트 발생
웨이퍼 크랙·파손 이벤트 발생
크랙·파손 징후를
실시간으로 감지
실시간으로 감지
웨이퍼 크랙 발생 시 제품 불량 및 수율 저하로 직결
조기 인지 및 즉각 대응이 가능한 상시 모니터링 체계
관리 대상 설비는 약 400°C 고온·정전기·협소 공간 등 극한 공정 환경에서 웨이퍼 크랙 및 파손 이벤트가 발생할 가능성이 높은 상태
크랙 발생이 제품 불량 및 수율 저하로 직결되는 구조상, AE 신호 기반 상시 모니터링을 통한 조기 감지 체계의 필요성이 확인
[ 검증 및 적용 ]
실제 공정 모사 환경 검증
실제 웨이퍼-척 환경에서 PLB Test를 통해 크랙 유사 이벤트 검증
주파수 필터링 적용을 통해 미세 크랙 신호 감지 가능성 확인
고온 및 전류 노이즈 환경에서도 안정적인 크랙 감지 성능 확인
